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超级表面粗糙度/轮廓测量装置525系列-CNC形状测量仪 首页 > 产品目录 > 精密测量 > 三丰量具 > 表面粗糙度测量仪/轮廓测量仪
CS-5000CNC/CS-H5000CNC
特点
• 高精度探针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。
• X1轴和X2轴的最大驱动速度分别为40mm/s和200mm/s,可以高速定位,从而提高了多重轮廓/多工件测量的效率。
• X1轴和Z1轴上装有三丰激光全息光栅尺,从而可以实现高分辨率(X1轴分辨率:6.25nm,Z1轴分辨率:4nm/8nm)的轮廓/形状测量、表面粗糙度的测量和批次测量。
• Z1轴检测器采用主动控制方式,减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。
• Z1轴检测器集成了防碰撞安全装置,当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时,检测装置可以自动停止工作。
• 带有ɑ 轴的型号,可以通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。
• 带有Y轴工作台的型号,可沿Y轴进行多工件定位,从而增加了多工件测量范围。
• 提供易于操作的遥控箱,用户可以通过这两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在按键上标有易于理解的图形显示轴的选择状态。
• 通过USB端口与数据处理/分析装置(选件)进行信息交换。
技术参数:
X1轴
测量范围: 200mm
分辨率: 0.00625µm
测量方法: 激光全息光栅尺
驱动速度: 最大40mm/s(CNC模式)
0-40mm/s(操纵杆控制模式)
测量速度:0.02-0.2mm/s(表面粗糙度)
0.02-2mm/s(形状/轮廓)
测量方向: 向前/向后
直线度:(0.1+0.0015L)µm、使用标准探针
(0.2+0.0015L)µm、使用二倍长型探针
直线度:(0.05+0.0003L)µm、使用标准探针
(0.2+0.0015L)µm、使用二倍长型探针
指示精度(20°C):±(0.3+0.002L)µm
指示精度(20°C):±(0.16+0.001L)µm
L为驱动长度(mm)
Z1轴
测量范围:12mm(标准探针)
24mm(二倍长型探针)
分辨率: 0.004µm(标准探针)
0.008µm(二倍长型探针)
探针上/下运作:弧形运动
测量方法: 激光全息光栅尺
指示精度(20°C):±(0.3+10.02H)µm
指示精度(20°C):±(0.07+10.02L)µm
H为测量高度(mm)
测力:4mN(标准探针)
0.75mN(二倍长型探针)
跟踪角度: 向上60°、向下60°(取决于表面粗糙度)
探针针尖:半径:5µm,角度:40°、钻石
(球 型探针)(半径:0.25mm,蓝宝石)
探针方向: 向下
Z2轴(立柱)
测量范围:300mm(500mm:高立柱型)
分辨率: 0.05µm
测量方法: 反射型光栅尺
驱动速度: 最大200mm/s(CNC模式)
0-50mm/s(操纵杆控制模式)
基座尺寸(W×D): 750×600mm
基座材料: 花岗岩
尺寸(W×D×H):800×620×1000mm
(800×620×1200mm:高立柱型)
重量: 240kg(250kg:高立柱型)
CS-H5000CNC
详见CNC Form Measuring instrument series (E4284)产品样本
软件选件
使用该软件可以控制马达驱动的Y轴工作台和旋转台选件,从而实现自动测量。使用该软件还可以进行轮廓评估,这项评估包括对级差,角度,深度,面积和其他基于表面粗糙度数据的特性进行分析。另外,还可以通过设置打印格式建立原始检测证书,以适应不同的需求。
轮廓测量屏幕
非球面透镜分析程序
操纵杆型
性能参数
型号
|
CS-5000CNC
|
CS-5000CNC
|
CS-5000CNC
|
CS-5000CNC
|
货号(100V-120V)
|
525-721-1
|
525-722-1
|
525-723-1
|
525-724-1
|
货号(200V-240V)
|
525-721-2
|
525-722-2
|
525-723-2
|
525-724-2
|
X1轴测量范围
|
200mm
|
200mm
|
200mm
|
200mm
|
Z2轴垂直行程
|
300mm
|
300mm
|
300mm
|
300mm
|
Y轴工作台装置
|
—
|
—
|
已安装
|
已安装
|
ɑ轴装置
|
—
|
已安装
|
—
|
已安装
|
型号
|
CS-5000CNC
|
CS-5000CNC
|
CS-5000CNC
|
CS-5000CNC
|
货号(100V-120V)
|
525-741-1
|
525-742-1*
|
525-743-1
|
525-744-1
|
货号(200V-240V)
|
525-741-2
|
525-742-2
|
525-743-2
|
525-744-2
|
X1轴测量范围
|
200mm
|
200mm
|
200mm
|
200mm
|
Z2轴垂直行程
|
500mm
|
500mm
|
500mm
|
500mm
|
Y轴工作台装置
|
—
|
—
|
已安装
|
已安装
|
ɑ轴装置
|
—
|
已安装
|
—
|
已安装
|
型号
|
CS-5000CNC
|
CS-5000CNC
|
货号(100V-120V)
|
525-761-1
|
525-763-1
|
货号(200V-240V)
|
525-761-2
|
525-763-2
|
X1轴测量范围
|
200mm
|
200mm
|
Z2轴垂直行程
|
300mm
|
300mm
|
Y轴工作台装置
|
—
|
已安装
|
ɑ轴装置
|
—
|
—
|
探针
性能参数
型号
|
CS-5000
|
CS-5000L
|
|
货号(mm)
|
525-886*
|
525-905*
|
|
货号(inch)
|
525-896*
|
525-915*
|
|
X1轴测量范围/分辨率
|
200mm/6.25nm
|
200mm/6.25nm
|
|
Z1轴测量范围/分辨率
|
标准探针
二倍长型探针 |
6mm/2nm
12mm/4nm |
12mm/4nm
24mm/8nm |
Z2轴垂直行程
|
250mm
|
250mm
|
|
X1轴直线度
L为驱动长度(mm) |
标准探针
二倍长型探针 |
(0.05+0.5L/1000)µm
(0.1+0.5L/1000)µm |
(0.1+1.5L/1000)µm
(0.2+1.5L/1000)µm |
指示精度(20°C)
L为驱动长度(mm),H为测量高度(mm) |
X1轴
Z1轴 |
± (0.2+L/1000)µm
± (0.2+IHI/100)µm |
± (0.2+L/1000)µm
± (0.3+12HI/100)µm |
* 为区分交流电源电压,在货号后加上以下后缀(如:525-886A):
A适于UL/CSA,D适于CEE,E适于BS,DC适于中国、K适于EK,无后缀适于JIS/100V