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精密测量
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客服：0631-5224466 5229596
传真：0631-5219496
邮编：264200
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FS-70 378系列－半导体检测显微镜 首页 > 产品目录 > 精密测量 > 三丰量具 > 轮廓测量显微镜
特点
• 此光学系统最初是为畅销的FS60型（后升级为FS70型）而开发的。它作为测量检测半导体器件的显微镜是很理想的。
• FS70L支持3种YAG激光波长（1064nm,532nm,355nm),FS70L4支持2种波长（532nm,266nm）,可在半导体和液晶基板中使用激光切割和薄膜技术。这就扩大了激光的使用范围。然而，使用三丰量具对显微镜的激光系统的性能和安全性，三丰公司不负责任。我们推荐在选购激光发射器时应仔细检查。
•FS70Z的标准功能有：亮视场，微分干涉对比（DIC）和偏振观测。FS70L和FS70L4不支持DIC。
• 使用内置式转换器使得长工作距离物镜的操作很简单。
• 极易操作的设计：FS70采用正像光学系统（视场中的像与样品方向相同）并用橡胶把手加大微调手轮。
性能参数
|
型号
货号 |
FS70
378-184-1 |
FS70-TH
378-184-3 |
FS70Z
378-185-1 |
FS70Z-TH
378-185-3 |
FS70L
378-186-1 |
FS70L-TH
378-186-3 |
FS70L4
378-187-1 |
FS70L4-TH
378-187-3 |
|
短基座型号
货号 |
FS70-S
378-184-2 |
FS70-THS
378-184-4 |
FS70Z-S
378-185-2 |
FS70Z-THS
378-185-4 |
FS70L-S
378-186-2 |
FS70L-THS
378-186-4 |
FS70L4-S
378-187-2 |
FS70L4-THS
378-187-4 |
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对焦
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50mm行程，同心焦距粗调（3.8mm/rev）和微调(0.1mm/rev）手轮（左、右）
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图像
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正像
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瞳距
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Siedentopf型、调节范围：51－76mm
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视场数
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24
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俯角
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—
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0°至20°
|
—
|
0°至20°
|
—
|
0°至20°
|
—
|
0°至20°
|
|
透过率
|
50/50
|
100/0或0/100
|
50/50
|
100/0或0/100
|
100/0或0/100
|
100/0或0/100
|
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管镜头
|
—
|
—
|
内置激光射线滤光片
|
内置激光射线滤光片
|
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|
适用激光
|
1X
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1X-2X zoom
|
1X
|
1X
|
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适用激光
|
—
|
—
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1064/532/355nm
|
532/355nm
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相机端口
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C-mount(使用适配器B选件)
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使用带有电视端口的激光器
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C-mount插座
（带有绿色滤光片转换开关） |
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照明系统、可选
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亮视场反射照明（科勒照明、带光圈）
12V 100w光纤、无极亮度调节、光导长度：1.5m、功耗150W |
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物镜、可选（用于观察）
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M plan Apo,M plan Apo SL, G plan Apo
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物镜、可选（用于激光切割）
|
—
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M/LCD plan NIR,
M/LCD plan NUV |
M plan UV
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载重*
|
14.5kg
|
13.6kg
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14.1kg
|
13.2kg
|
14.5kg
|
13.6kg
|
14.1kg
|
13.2kg
|
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重量（主机）
|
6.1kg
|
7.1kg
|
6.6kg
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7.5kg
|
6.1kg
|
7.1kg
|
6.6kg
|
7.5kg
|
* 光管的载重不包括物镜镜头和目镜的重量