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精密测量
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Hyper MF/MF-U176系列－高精度测量显微镜 首页 > 产品目录 > 精密测量 > 三丰量具 > 轮廓测量显微镜
特点
• 世界级高精度XY测量精度为（0.9+3L/1000）µm。
• 可选择LAF功能。
• 良好的操作性能和重复精度。
• 三轴电动控制。 标配电动自动聚焦装置。
性能参数
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型号
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Hyper MF
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Hyper MF－U
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货号(mm)
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176-401*
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176-402*
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观察类型
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BF
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BF或BF/BD
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数显计数器
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－
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－
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XY工作台行程范围
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250×150mm
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250×150mm
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测量装置
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线性编辑器
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线性编辑器
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分辨率
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0.01µm
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0.01µm
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测量精度（20°C时）
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±(0.9+3L/1000)µm,L为XY轴无负载长度（mm）
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驱动系统（X,Y,Z轴）
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带操纵杆的电动控制
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XY工作台台面尺寸
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460×350mm
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460×350mm
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载物玻璃有效尺寸
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300×200mm
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300×200mm
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旋转功能
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±3°
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±3°
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最大工件重量
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30kg
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30kg
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最大工件高度
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150mm
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150mm
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* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀（如：176－401A:A适于UL/CSA,D适于CEE,E适于BS,DC适于中国、K适于EK,无后缀适于JIS/100V
技术参数：
观察图像： 正像
光管： 单目目镜或双目目镜（可选俯角 ：25°）、十字投影法、带有TV插板、光通比、（目镜/TV插板：50/50）
目镜（选件）:10X，15X,20X
物镜：3X（375－037），W.D.:72.5mm
可选：1X,5X,10X,20X,50X,100X
轮廓照明
• 光源： 卤素灯泡（12V,100W）
(光纤冷光照明）
• 光学系统： 带有可调整光圈的远心照明系统
• 功能： 光强度可调、100级亮度调整
表面照明
• 光源： 卤素灯泡（12V,50W）
• 光学系统： 带有可调整光圈的科勒照明系统
• 功能：光强度可调、100级亮度调整
数据输出：通过RS-232C接口
电源：100/110/120/220/240V AC,50/60Hz
重量 250kg(主机），14kg(电源装置）
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技术参数
观察图像： 正像
光管： Siedentoph型（可调瞳距：51－76mm）,1X光管镜头、双目目镜（俯角：25°）、十字投影法、带有TV插
板、光通比、（目镜/TV插板：50/50）
目镜:10X(视场直径：24mm), 可选：15X,20X
转盘（选件）：电动旋转盘
物镜（选件）：从1X－100X的M/BD plan APO物镜（详见382页）
轮廓照明
• 光源： 卤素灯泡（12V，100W）
• 光学系统： 带有可调整光圈的远心照明系统
• 功能： 光强度可调、100级亮度调整
表面照明
• 光源： 卤素灯泡（12V,50W）
• 光学系统： 带有可调整光圈的科勒照明系统
• 功能：光强度可调、100级亮度调整
数据输出：通过RS-232C接口
电源：100/110/120/220/240V AC,50/60Hz
重量 255kg(主机），14kg(电源装置）
详见Hyper MF/MF-U(E4267)产品样本
系统图释
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尺寸
