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MF-U176 系列-高倍率多功能测量显微镜 首页 > 产品目录 > 精密测量 > 三丰量具 > 轮廓测量显微镜
特点
• 亮视场、大视野观察可得到清晰、无闪烁的正像。
• 使用长工作距离的目镜,放大倍率可达20X(总倍率:4000X)。
• 和高级检测显微镜一样采用校正光学系统(FS系列)。
• 亮/暗视场观察,偏光观察和微分头干涉对比(DIC)观察。
• 使用立柱两侧的微调/粗调旋钮进行调焦和测量。
• 调零开关(X轴和Y轴)也位于操作台手柄的附件。
• 带有镜头旋转盘。
• 增强型目镜可有效缓解眼睛疲劳。
偏光观察:
观察过滤后只有一个方向振动的光。用于观察具有特殊光学特性的材料,如矿石和液晶。
微分干涉对比观察:
在检测金属、液晶和半导体表面的微小划痕和台阶时十分有效。
暗视场观察:
挡住直射到物体上的光,只观察散射光,通过高对比度能观察到在亮视场看不到的划痕和粉末。
亮视场观察:
最普通的观察方式,直接观察从工件表面反射的光。
技术参数
观察图像: 正像
光管: Siedentoph型(可调瞳距:51-76mm),1X光管镜头。
双目目镜(俯角:30°),十字投影法、带有TV插板、光通比、(目镜/TV插板:50/50)
目镜:10X(视场直径:24mm), 可选:15X,20X
转盘(选件):手动或电动旋转盘
物镜(选件):从1X-100X的M/BD plan APO物镜(详见382页)
轮廓照明
• 光源: 卤素灯泡(12V,50W)
• 光学系统: 带有可调整光圈的远心照明系统
• 功能: 光强度可调、无级亮度调整
表面照明
• 光源: 卤素灯泡照明选件(光纤冷光照明)
• 光学系统: 带有可调整光圈的科勒照明系统
• 功能:光强度可调、无级亮度调整
显示装置
• 轴数:2轴或3轴
• 分辨率:0.001mm/0.0005mm/0.0001mm/.0001"/.00005"/.00001"
• 功能: 调零、方向转换 数据输出(通过RS-232C接口)
电源:100/110/120/220/240V AC,50/60Hz
重量 65.5kg(MF-_505B,MF-_1010B),
69.5kg(MF-_2010B),
130kg(MF-_2017B),
138kg(MF-_3017B),
144kg(MF-_4020B)
XY工作台选择(行程范围)
选件
378-857: 15X目镜套装(视场范围:16mm)
378-858: 20X目镜套装(视场范围:12mm)
(见382页) 物镜
378-018: 手动BF旋转盘
378-116: 电动BF旋转盘
176-211: 手动BF/DF旋转盘
378-210:电动BF/DF旋转盘
(见364面)分划板
178-092: 偏震器
378-076: 用于100X,SL80X,SL50X目镜的微分干涉对比装置
378-078: 用于50X,SL目镜的微分干涉对比装置
378-079: 用于20X目镜的微分干涉对比装置
378-080: 用于10X,5X目镜的微分干涉对比装置
12AAA643: ND2型彩色滤光片
12AAA644: ND8型彩色滤光片
12AAA645: GIF型滤光片
12AAA646:LB80型彩色滤光片
375-054:0.5X相机转向镜(带有C-mount适配器)
970441: C -mount适配器
513667:卤素灯泡(24V,50W)
12BAB345: 卤素灯泡 (长寿型、24V,50W)
517181: 卤素灯泡(24V,100W)
12BAD602: 卤素灯泡(高亮度型、24V,100W)
176-308: 防震台架
176-309: 安装台架
375-056: 读数尺
12AAA165:镜头清洗工具
12AAA846: 脚踏开关
照明元件
176-315: 卤素照明装置(12V,100W)
176-316: 卤素照明装置(12V,150W)
176-343: 双光纤照装置
12AAG806: GIF型彩色滤光片(用于176-315)
12AAG807: LB80型彩色滤光片(用于176-315)
固定和工作台附件
176-107: 带有夹钳的支架*
172-378: 带有夹钳的V型块*(最大工件直径:25mm)
172-197: 用于TM-510的旋转式中心架*(最大工件直径:80mm)
176-305: 带有微调旋钮的旋转工作台,适用于505/1010/2010型号
176-306: 带有微调旋钮的旋转工作台,适用于2017/3017/4020型号
*2010型号需要与固定适配器(176-310)配合使用
017/3017/4020型号需要与固定适配器(176-304)配合使用
QM-Data200 2D数据处理器(详见372页)12AAA807: 连接电缆套装
Focus piolt FP-05 辅助聚焦系统(见370页)
Vision Unit 基于PC的视像测量系统(见374页)
性能参数
型号
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MF-U_505B
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MF-U_1010B
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MF-U_2010B
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MF-U_2017B
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MF-U_3017B
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MF-U_4020B
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货号 MF-A型
MF-B型 MF-C型 MF-D型 |
176-567*
176-587* 176-573* 176-593* |
176-568*
176-588*
176-574* 176-594* |
176-569*
176-589* 176-575* 176-595* |
176-570*
176-590* 176-576* 176-596* |
176-571*
176-591* 176-577* 176-597* |
176-572*
176-592* 176-578* 176-598* |
XY工作台行程范围
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50×50mm
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100×100mm
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200×100mm
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200×170mm
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300×170mm
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400×200mm
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Z轴行程范围
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150mm
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150mm
|
150mm
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220mm
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220mm
|
220mm
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调焦方式
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手动调焦 (粗调焦:10mm/rev.、微调焦:0.1mm/rev.)
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测量方法
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线性编码器(2轴型号:X/Y轴、3轴型号:X/Y/Z轴)
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分辨率(可转换)
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0.001mm/0.0005mm/0.0001mm/.0001"/.00005"/.00001"
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测量精度(20°C时)
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XY轴:(2.5+0.02L)µm,L为无负载测量长度(mm),JIS B 7153
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指示精度(20°C时)
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Z轴:(5+0.004L)µm,L为测量长度(mm)
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移动功能
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带有快速断开机构的X和Y轴
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XY工作台台面尺寸
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280×280mm
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280×280mm
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350×280mm
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410×342mm
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510×342mm
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610×342mm
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载物玻璃有效尺寸
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180×180mm
|
180×180mm
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250×150mm
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270×240mm
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370×240mm
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440×240mm
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旋转功能
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-
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-
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-
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±5°(left)
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±5°(left)
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±3°(left)
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最大工件重量
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10kg
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10kg
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10kg
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20kg
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20kg
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15kg
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最大工件高度
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150mm
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150mm
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150mm
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220mm
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220mm
|
220mm
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* 为区分交流电源电压,在货号后加上以下后缀(如:176-567A):A适于UL/CSA,D适于CEE,E适于BS,DC适于中国、K适于EK,无后缀适于JIS/100V
设备型号
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MF-A型
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MF-B型
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MF-C型
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MF-D型
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观察类型
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亮视场(BF)
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亮视场(BF)
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亮/暗视场(BF/DF)
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亮/暗视场(BF/DF)
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测量系统
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X和Y轴(2轴)
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X,Y和Z轴(3轴)
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X和Y轴(2轴)
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X,Y和Z轴(3轴)
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尺寸