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客服：0631-5224466 5229596
传真：0631-5219496
邮编：264200
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Laser Hologage （激光全息测微计）542系列－0.00001mm分辨率型 首页 > 产品目录 > 精密测量 > 三丰量具 > 线性测微计/激光扫描测量仪
技术参数
精度： 参见性能参数（不包括量化偏差）
分辨率：0.01µm
长度标准杆： Laser-hologram测量传感器
最大反应速度：250mm/s
测针： R5mm硬质合金
轴套：ø15mm
轴承类型：高精度线性滚珠轴承
测力：参见性能参数
输出信号： 90°相位差，差动方形波
信号间距：0.25µm
选件
09CAA335: 调零遥控器
971751： 用于在上表面固定的轴套固定装置
971752： 用于在下表面固定的轴套固定装置
971753： 心轴提升电缆
971750： Loaser Hologage 支架
详见Linaer Gage (E4174)产品样本
三丰的Laser Hologage是一种高端数显测量系统，采用衍射光束干涉，进行高精度和高重复精度测量。其光栅尺带有极微细衍射光栅，并全息纪录在光栅尺上。Laser Hologage 适于测量精度极高的工件，特别适于半导体等行业使用。（参见第3页关于hologram的详细说明）。
特点
• 由于具有0.00001mm(0.01µm)的极高分辨率适于进行高精度测量，其性能接近激光干涉仪。
• 具有极高的测量稳定性——高防护性设计，适于在恶劣的环境下工作，如温度和气压变化的环境。
• 心轴导轨使用高精度线性滚珠轴承，移动非常滤波且延长了使用寿命。
• 带有显示装置。
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测量范围
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货号
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分辨率
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精度
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测力*
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轴套直径
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备注
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10mm(.4")
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542－923
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0.1µm/1uinch
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0.1µm
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0.55N/0.45N/0.35N
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15mm
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—
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10mm(.4")
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542－924
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0.1µm/1uinch
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0.1µm
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0.1N/—/—
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15mm
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低测力
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* 测微计方向：朝上/水平/朝下
尺寸
